干渉計解析装置除振台

富士フイルム干渉計、弊社所有Ｆ601は特注スタンドにてストロークを増やして有りＲの浅い面も測定が可能ですが頭が重いため除振台が揺れてしまい解析に時間が掛かってしまっておりました。
今回、アクティブ除振台のデモ機を使い試しましたところ見事に揺れが収まり解析の数値も良くなりました。
明立精機製アクティブ除振台２台発注し現在使用中です。
λ/20量産品も順調に納品出来ております。