解析装置

F社製干渉計に解析装置が付く事となりました。

最近AS０．５以下が多くなり全数計測が必要となり、解析１台では苦しくなってきました。

数値にて保証出来る事は良い事かと・・・・・

しかし、ピッチ研磨の干渉縞に持って行くことがかなり難しく・・・・・

NC機でPV値はλ／１０に入っているのに干渉縞は滲んでいる。

日々勉強です。

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